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光刻机40年资本局:尼康起高楼,ASML宴宾客,美国楼塌了

原创2020-04-13 08:49:33 0 342

前言

科技大国的资本局已经到了临界点,是否限制中国购买设备成为越来越紧迫的压力,需要这42位局中人做出选择。成也政治,败也政治,将是光刻机的宿命。

2019年,尼康总共销售了47台光刻机,占全市场的13%,还不如自己的难兄难弟佳能。不过虽然佳能销售了82台,但是集中在第一、第二代古老的光刻机,别说高端市场,连中端市场都没什么存在感。

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尼康起高楼,ASML宴宾客,

美国楼塌了

光刻机,其实可以简单理解为“超超超超…超高”精度的照相机,把设计好的电路投影在硅片上。

与此同时,荷兰光刻机巨头阿斯麦ASML,占据了63%的市场份额,产品集中在中高端的极紫外光刻EUV和深紫外光刻DUV上。

然而在2004年前,尼康是当之无愧的带头大哥,不仅让阿斯麦稳坐屌丝之位,甚至让美国这个光刻机技术鼻祖逐步退出了半导体用光刻机的市场。

彼时傲娇的尼康一直将光刻机作为自己的核心产品,也是让日本企业引以为傲的“民族之光”,甚至当年能到尼康从事光刻机的研发一度成为众多日本大好青年的愿景。

再看ASML的基础并不好。从1984年诞生后的20年,ASML就一直是一个谜一样的存在,没有什么人会觉得ASML能够有什么未来,甚至包括他们自己。

早期ASML还叫做ASM,生存无望只能四处认干爹,最终只有飞利浦动了恻隐之心,在总部大厦旁边垃圾桶旁的空地上给ASML弄了几个简易厂房,房地产工地上的那种。最骚的是,飞利浦也没打算给什么钱,ASML除了要饭没干过,基本上上门推销、蹲点、抢单反正你能想象到的销售手段ASML全都用过,能活20年全靠日积月累出来的“销售手艺”。

魔幻的是,这点“手艺”居然成为了日后ASML登顶的关键。

苦苦支撑20年,ASML终于等待了他们第一个贵人——台积电鬼才林本坚,一个可以比肩张忠谋的人物。如果说张忠谋缔造了台积电的前20年,林本坚就为台积电的后二十年挣下了巨大的家当。

林本坚1942年出生于越南,中国台湾人,祖籍广东潮汕。林本坚1970年获得美国俄亥俄州立大学电机工程博士学位,2008年当选美国国家工程学院院士。在加入台积电之前,林本坚在IBM从事成像技术的研发长达22年,是当时世界无二的顶级微影专家。

2000年,林本坚在当时台积电研发长蒋尚义的邀请下加入台积电,开启了真正“彪悍的人生”。

在IBM最后几年,林本坚其实已经看到了傲慢的IBM在微影领域的大厦将倾。他希望IBM能够给予他当时微影部门所研发的X光光刻技术1/10的经费,用来“做点东西”,然而IBM因为其华人的身份,并不打算买账。

后来林本坚回忆说:“我判断到65纳米(干式光刻)阶段时,让我再往前看三代的话,我就已经看不到了。”

于是在众多人陷入X光光刻技术无法自拔的时候,林本坚义无反顾地投入了浸润式光刻技术的研究中。

终于在2002年,已经加入台积电的他研究出以水作为介质的193纳米浸润式光刻技术。也就是在2002年,冥冥之中宣告了过往干式光刻机的死刑。

浸润式光刻技术让摩尔定律继续延伸,后来台积电也因此领先竞争对手超过5年。

然而任何一项颠覆式新技术的出现,总会受到来自于传统势力巨大的阻力。林本坚的浸润式光刻,几乎被尼康、佳能、IBM等所有巨头封杀,尼康甚至向台积电施压,要求雪藏林本坚。

巨头的陨落,总是如出一辙。当年柯达最早生产出来了数码照相机,但是柯达却因为恐惧数码相机威胁到自己的胶片业务,做出决定——一定要藏好,不能让别人知道。

尼康的智商,在巨大的现有经济利益前消耗殆尽。

一场赌局即将开始。

半死不活的ASML敏锐的看到了其中蕴藏的巨大机会,历史注定ASML会和林本坚合作。ASML如果选择浸润式技术,不仅可以获得台积电的巨大订单,也能够和台积电建立起危难中的“革命友谊”。

对于林本坚和ASML来说,结果都不会比现在更糟了。

命运倒向了浸润式光刻技术。2004年,ASML和台积电共同研发出第一台浸润式微影机,优秀的性能和稳定的技术,让阿斯麦的产品全面碾压尼康。尼康只用了5年时间,就失去了50%以上的份额,沦为一个不入流的厂商。

半导体的兴衰,没有道理可讲,而且毁灭是巨大的。时间到2009年,因为日本、IBM等无视浸润式技术,让日本的半导体厂商以及IBM也都迅速衰落。尼康因为一步错,把整个日本半导体拖慢了3个世代。

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